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PFA花篮） 又名 清洗花蓝为承载半导体晶圆片容器，耐酸耐碱耐腐蚀
主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用可搭配PFA把手使用。
二、参数
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名称 |
规格 |
耐温性 |
应用 |
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PFA花篮
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2寸 |
-200~260℃ |
酸碱传输制程 |
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4寸 |
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6寸 |
三、特点
1.耐腐蚀：耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温：-200~260℃
4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无关；
5.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染
7.化学性能稳定